Industry Solution · Semiconductor

半導体製造装置向け
配線保護・EMC対策ソリューション

クリーンルーム対応・耐熱・ノイズ対策まで。
半導体製造装置特有の配線課題に、専門メーカーとして対応します。


Challenge

半導体製造装置の配線に、こんなお悩みはありませんか?

半導体製造装置は、クリーンルーム環境・高電圧・高周波・精密制御が混在する極めて過酷な配線環境です。ノイズによる誤作動、配線の摩耗・断線、装置内の整線不良や耐熱対策など、配線に起因するトラブルは生産ラインの停止に直結します。

1

高周波インバーターやモーターからの電磁ノイズが制御系に干渉する

2

クリーンルーム対応が必要で、発塵・アウトガスが懸念される

3

装置の小型化・高密度化により、配線スペースが年々厳しくなっている

4

ヒーター等の高温環境下での配線の保護と固定

Application

半導体製造装置における主な採用箇所

インバーター・モーターからのノイズ対策(後付け)

シールドチューブ ATS

装置間20m超の長距離ケーブル つなぎ目なし保護

保護チューブ TR

ヒーター周辺の高温環境下での配線固定

耐熱クランプ DN-GR

制御盤・パネル貫通部のケーブル固定・防水

ケーブルグランド(CE対応)
Products

半導体製造装置向け推奨製品

シールドチューブ ATS
課題①対応

シールドチューブ ATS

後付けでケーブルを切断せずに取付可能。EMCノイズ対策に。

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保護チューブ TR
課題②③対応

保護チューブ TR

クリーンルーム対応。20m超の長距離もつなぎ目なしで保護。

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耐熱チューブ DP-T
課題④対応

耐熱チューブ DP-T

ヒーター等の高温環境下でのケーブル絶縁・保護に対応。

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耐熱クランプ DN-GR
課題④対応

耐熱クランプ DN-GR

高温環境下での配線固定に対応した耐熱クランプ。

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ケーブルグランド
CE対応

ケーブルグランド

難燃性・CE対応。パネル貫通部のケーブル固定・防水に。

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Field Voice

現場で見てきた、半導体装置メーカーの配線課題

半導体装置メーカー様の現場に伺うと、ノイズ対策で困っているケースが非常に多いです。特に設置装置が階層をまたぐケースがあり、ケーブル長が20mを超えるような場面もあります。つなぎ目なしで使用できる長さのチューブが重宝されています。また最近はイオンコンタミネーション対応の要求に見合う材質での対応依頼も増えています。

デンカエレクトロン 技術営業

Customer Voice

お客様の声

業界の特性で需要の波がある中で、少量から大量まで幅広く対応いただきました。サンプルから本採用までのスピードも早く助かりました。
半導体製造装置メーカー 設計部

半導体製造装置の配線課題、まずはご相談ください

用途・環境をお知らせいただければ、最適な製品をご提案します。サンプルのご依頼もお気軽に。

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